蚀刻不是只往下咬。药水把铜往下咬的同时,也会往两边咬,把抗蚀层下面的铜掏空一点,这就是侧蚀。蚀得越深、两边掏得越多,线就越细,严重了甚至断线。衡量这个的指标叫蚀刻因子——线路越细,对它要求越高。
侧蚀(undercut)就是线路侧面被横向咬掉的量。蚀刻因子 = 蚀刻深度 ÷ 单边侧蚀量,这个数越大,说明往下咬得多、往两边咬得少,线路侧壁越陡、越接近设计线宽。普通蚀刻两三左右,控制好的水平线能做到更高。
三个后果:一是线宽变窄,实际做出来比图纸细,细线路直接报废;二是阻抗变了,高速板、阻抗板会出问题;三是侧壁成梯形不规整,影响后续。所以做菲林时一般会按经验留蚀刻补偿,把线画粗一点点,蚀完正好到设计值。
关键在喷淋和传输:上下喷压匹配、喷淋均匀、板子平着走连续传输,让新鲜药水均匀打到板面、把蚀刻产物及时冲走,纵向蚀刻占主导、减少横向滞留。再控制好蚀刻量别过蚀,配合药水成分,蚀刻因子就上得去。水平蚀刻机在这方面比浸泡式有明显优势。
水平蚀刻板子平躺、滚轮传输、上下喷嘴喷淋,药水打到板面均匀、新鲜药水持续补充、蚀刻产物及时冲走,纵向蚀刻占主导,侧蚀自然小。这也是为什么细线路、量产基本都用水平线,再连成 DES 线。内层细线走酸性、配高蚀刻因子,见酸性和碱性蚀刻的区别。
看板子要求。普通板两三就够,细线路、阻抗板要更高。靠水平喷淋、控制蚀刻量和药水状态往上提。
取决于铜厚和设备。铜越薄、蚀刻因子越高,越能做细线。具体按板子的铜厚和线宽要求评估。
不能。只要是湿法蚀刻就有侧蚀,只能尽量减小并用蚀刻补偿抵消——做菲林时把线适当加粗,蚀完正好到设计值。
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